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离子溅射仪ETD-2000

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参考报价: ¥50000 RMB(人民币) 型号: ETD-2000
品牌: 博远微纳 产地: 北京
关注度: 107 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
价格范围¥5万-10万
溅射气体 多种样品台尺寸 直径50-70mm/可升降
控制方式 手动样品仓尺寸 直径160mm;高120mm
靶材尺寸 直径50mm;厚度0.1mm靶材材质
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

     ETD-2000 型离子溅射仪外观沉稳大气,采用真空自动控制和真空保护电路,使操作和应用更加安全可靠。为扩大应用领域,可同时手动调整溅射仪的电离电流或手动调整其真空微调针阀,改变电离室的压强,获得最佳的喷镀效果。独特的真空橡胶压边密封结构,保证长期使用不会使钟罩边缘出现毛边而影响真空室中的真空度,陶瓷密封高压插头经久耐用。

      工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体,获得最佳镀膜效果。

      ETD-2000型是一款最常用的离子溅射仪,是一切溅射仪的基础。是以金属靶材和样品台分别作为阴阳两极,在真空状态下产生辉光放电,使金原子与残存的气体不断碰撞而沉积成薄膜。可以使用Au,Pt,Cr、Al、Cu等靶材。

     具有成膜均匀,操作简单,所需时间短,过程可控等优点。

     配有高位定性真空泵

     

参数:

主机规格:305mm×365mm×325mm(W×D×H)

靶(上部电极):金:50mm×0.1mm(D×H)

靶材:Au(标配),也可根据实际情况配备银靶、铂靶等

样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×120mm(D×H)

靶材尺寸:Ф50mm    

真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2   mbar

离子电流表: 最大电流:50mA

定时器:     最长时间:3600s

微型真空气阀:可连接φ3mm软管

可通入气体: 多种

最高电压:  -1600  DCV

        输入电压:220V(可做110V),50HZ

机械泵:标准配置2L/S(国产VRD-8)

 

特点:

1、简单、经济、可靠。

2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。

4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。

5、同时可以通过更换不同的靶材(金、铂、铱、银、铜等),以达到更细颗粒的涂层。

6、通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。

7、数字计时器定时自由方便。

8、计时器可随时停止,观察样品涂层,并可继续工作。

9、可调节样品台,适用于多种样品。


需要镀膜的样品

1、电子束敏感的样品:

主要包括生物样品,塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;

2、非导电的样品:

由于样品不导电,其表  面带有“电子陷阱”,  这种表面上的电子积累  被称为“充电”。为了  消除荷电效应,可在样  品表面镀一层金属导电  层,镀层作为一个导电  通道,将充电电子从材  料表面转移走,消除荷  电效应。在扫描电镜成  像时,溅射材料增加信  噪比,从而获得更好的成像质量。

3、新材料:非导电材料和半导体材料


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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