Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device

应用范围：用于精密材料研发的单晶和多晶片的寿命测量

特性

●灵敏度：外延片不可见的缺陷和检测的 灵敏度的可视化
●测量速度：6英寸硅晶圆片，1mm分辨率 ，小于5分钟
●使用寿命: 20纳秒到几毫秒
●污染测定：源自炉和设备的金属(Fe)污染
●测量能力：从初始切割的晶圆片到完全加工的样品
●灵活性：固定测量头允许外部激光与触发器耦合
●可靠性： 模块化和紧凑的台式仪器，更高的可靠性和正常运行时间> 99%
●重现性： > 99.5%
●电阻率：不需要频繁校准

用于研发或生产监控的灵活检测工具

   MDPmap是一个紧凑的台式无触点电子特性的离线生产控制或研发的工具。可测量参数如载流子寿命、光电导性、电阻率、缺陷信息在稳态或注入范围宽短脉冲励磁(μ-PCD)。自动化的样品识别和参数设置可以方便地适应各种不同的样品，包括在不同的制备阶段，从生长的晶圆片到高达95%的金属化晶圆片的外延片和晶圆片。。 
   MDPmap的主要优点是其高度的灵活性，它允许集成多4个激光器，用于从超低注入到高注入的依赖于注入水平的寿命测量，或者使用不同的激光波长提取深度信息。包括偏置光设施以及μ-PCD或稳态注入条件的选项。可以使用不同的图进行客户定义的计算，也可以导出原始数据进行进一步的评估。对于标准计量任务，可用一个预定义的标准，使常规测量只需按一个按钮。 

MDPmap 晶圆片寿命检测仪信息由束蕴仪器（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于MDPmap 晶圆片寿命检测仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途