P-7 台阶仪

P-7 Stylus Profiler

产品描述

P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

P-7建立在市场的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

主要功能

•       台阶高度：几纳米至1000μm

•       微力恒力控制：0.03至50mg

•       样品全直径扫描，无需图像拼接

•       视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

•       圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

•       软件：简单易用的软件界面

•       生产能力：通过测序，模式识别和SECS / GEM实现全自动化

主要应用

•       台阶高度：2D和3D台阶高度

•       纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

•       形状：2D和3D翘曲和形状

•       应力：2D和3D薄膜应力

•       缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

•       大学、研究实验室和研究所

•       半导体和化合物半导体

•       LED：发光二极管

•       太阳能

•       MEMS：微机电系统

•       数据存储

•       汽车

•       医疗设备

主要技术参数

•       重复性:≤4A (0.10%)

•       垂直分辨率: 0.01A

•       水平分辨率(X): 0.025 um

•       水平分辨率(Y): 0.5 um

•       采样率: 5~2000 Hz

•       垂直线性度:

            士0.5%>2000A.

            10As 2000 A

•       针压范围: 0. 03~50 mg

•       大测量长度: 150 mm

            (无需拼接)

•       扫描速度:2 um/s - 25 mm/s

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途