400-6699-117转1000
您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
参考报价: | 面议 | 型号: | D-300 |
品牌: | 科磊半导体 | 产地: | 美国 |
关注度: | 686 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 |
400-6699-117转1000
KLA D-300 探针式表面轮廓仪
Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。
探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量,与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。通过测量粗糙度和应力,可以对工艺进行量化,确定添加或去除的材料量,以及结构的任何变化。
设备特点
· 台阶高度:几纳米至1000μm
· 低触力:0.5至15mg
· 视频:500万像素高分辨率彩色摄像头
· 梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真
· 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
· 紧凑尺寸:小占地面积的台式探针式轮廓仪
主要应用
· 台阶高度:2D台阶高度
· 纹理:2D粗糙度和波纹度
· 形式:2D翘曲和形状
· 应力:2D薄膜应力
应用领域
· 半导体和复合半导体
· SIMS:二次离子质谱
· LED:发光二极管
· 太阳能
· MEMS:微电子机械系统
· 汽车
· 医疗设备
KLA台阶仪 D-300 探针式 表面轮廓仪信息由优尼康科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于KLA台阶仪 D-300 探针式 表面轮廓仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途