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NANO-MASTER的微波PECVD系统产品顺利应用于中科院深圳先进技术研究院,该系统即将配套远程微波等离子源,带直流偏压,支持高达900度的样品台加热,提供精确的控温,该系统可以支持石墨烯和CNT碳纳米管阵列。根据客户...