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NSC-1000 磁控溅射系统

参考报价: 面议 型号: NSC-1000
品牌: 那诺-马斯特 产地: 美国
关注度: 42 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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NSC-1000磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6"旋转平台,支持到2个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-1000带有10”派热克钟罩腔体,2个2”的磁控管,DC直流电源用于溅射金属,并带有膜厚监测仪(选配)。由于NSC-1000的空间有限,我们不能在NSC-1000系统上提供更多的电源和磁控管。我们可以提供我们的NSC-1000系统,用于SEM应用,也可以用于溅射金属到z大6”的晶圆片。


NSC-1000磁控溅射系统产品特点

·         不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔

·         70l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵

·         1KW DC直流电源

·         晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

·         带观察视窗的腔门易于上下载片

·         基于LabView软件的PC计算机控制

·         带密码保护功能的多级访问控制

·         完全的安全联锁功能


选配项:

·         Thickness Monitor   膜厚监测


应用:

·         SEM应用

·         溅射金属,可达6"的晶圆片

 


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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