卓立汉光OPTM 系列其它通用

OPTM系列显微分光膜厚仪头部集成了显微光谱法测量所需的功能，用于高精度绝对反射率（多层膜厚度，光学常数）的测量，1点1秒高速测量显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）区域，传感器的安全机制，易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析，独立测量头对应各种inline客制化需求，支持各种自定义。OPTM系列显微分光膜厚仪选型表：

OPTM-A1

波长范围：230~800nm

膜厚范围：1nm~35μm

测定时间：1秒/1点

光斑大小：10μm (*小约5μm)

感光元件：CCD

光源规格：氘灯+卤素灯 

电源规格：AC100V±10V 750VA（自动样品台规格）

尺寸：555(W)×537(D)×568(H)mm(自动样品台规格之主体部分)

重量：约55kg（自动样品台规格之主体部分）

测量项目：绝对反射率测量，多层膜解析，光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）。测量示例：SiO2SiN[FE-0002]的膜厚测量。半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号，但为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径，有必要隔离晶体管，埋入绝缘膜。SiO2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于绝缘膜。SiO2用作绝缘膜，而SiN用作具有比SiO2更高的介电常数的绝缘膜，或是作为通过CMP去除SiO2的不必要的阻挡层。随后SiN也被去除。为了绝缘膜的性能和精确的工艺控制，有必要测量这些膜厚度。 

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途