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安捷伦科技（中国）有限公司
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卓立汉光光学位移台
六自由度并联运动台 Free6D.3-2.070
超安静运动 纳米级分辨率 ·断电位置自保持·内置高精度光学位置传感器 并联驱动结构 高刚性系统
六自由度并联运动台 — Free6D.3-2.070
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 高刚性系统
产品图片&尺寸
产品参数
1 | 可选版本 | .HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，完全无磁版本； |
2 | 外形尺寸 | Ø70 × 65 mm |
3 | 主体材料 | 标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：400 g；,NM 纯钛，陶瓷：600 g |
4 | 最大垂直负载 | 300 g |
5 | 运动行程 X，Y，Z | ± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm |
6 | 运动行程 θX，θY ，θZ * | ± 16 °,± 13 °,± 26 ° |
7 | 单向重复精度 X，Y，Z * | ± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
8 | 单向重复精度θX，θY，θZ | ± 8 μrad，± 8 μrad，± 8 μrad |
9 | 最小步伐 X，Y，Z | 10 nm，10 nm，10 nm |
10 | 最小步伐 θX，θY，θZ | 1 μrad，1 μrad，1 μrad |
11 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
12 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
13 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK) |
14 | 控制器规格 | MC-Free6D |
六自由度并联运动台 — Free6D.3-2.150
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 高刚性系统
产品图片&尺寸
产品参数
1 | 可选版本 | .HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，完全无磁版本； |
2 | 外形尺寸 | Ø150 × 90 mm |
3 | 主体材料 | 标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：1.4 kg；,NM 纯钛，陶瓷：2.1 kg |
4 | 最大垂直负载 | 1 kg |
5 | 中空孔径 | Ø40 mm |
6 | 运动行程 X，Y，Z * | ± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm |
7 | 运动行程 θX，θY ，θZ * | ± 9 °,± 8 °,± 14 ° |
8 | 单向重复精度 X，Y，Z | ± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
9 | 单向重复精度 θX，θY，θZ | ± 5 μrad，± 5 μrad，± 5 μrad |
10 | 最小步伐 X，Y，Z | 10 nm，10 nm，10 nm |
11 | 最小步伐 θX，θY，θZ | 1 μrad，1 μrad，1 μrad |
12 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
13 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
14 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK) |
15 | 控制器规格 | MC-Free6D |
六自由度并联运动台由北京卓立汉光仪器有限公司 为您提供，如您想了解更多关于六自由度并联运动台报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。
