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QF 系列滑台是采用的静压气浮导轨作为保持机构,直线电机驱动的直线滑台。具有高稳定度、高分辨率,精密位移,大负载的功能。采用气浮导轨为保持机构,工作过程没有摩擦, 无灰尘产生,没有爬行现象。产品尺寸较多,可以根据需要灵活选择,该系列产品适合用于半导体行业或其他对于精密位移亚微米级调整有需求的客户。