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四方仪器_红外气体传感器 Gasboard-2061

价格：面议
品牌：四方仪器 产地：中国 型号：Gasboard-2061 样本：点我免费下载样本
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AI问答
  • 四方仪器_红外气体传感器Gasboard-2061价格？ 可以检测什么？
  • 四方仪器_红外气体传感器Gasboard-2061参数规格？ 配套的耗材试剂？
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参数规格
产地类别：国产 供应商性质：生产商 检测原理：NDIR
检测范围：WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
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产品卖点

使用NDIR技术，多气体监测支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)；响应时间快，高灵敏度；无耗材

产品介绍

红外气体传感器 Gasboard-2061.jpg

产品名称：红外气体传感器

产品型号：Gasboard-2061


红外气体传感器产品概述

红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。


红外气体传感器产品特性

  • 使用NDIR技术，多气体监测支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)

  • 响应时间快，高灵敏度

  • 无耗材

  • 模拟/数字通信

  • 模块化设计，便于集成


红外气体传感器技术参数

检测原理NDIR
检测气体WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重复性±0.5%
线性±1%F.S.
检测限1ppm


四方仪器_红外气体传感器 Gasboard-2061由四方光电（武汉）仪器有限公司 为您提供，如您想了解更多关于四方仪器_红外气体传感器 Gasboard-2061报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。

客户服务

可为您提供全套综合服务、需求定制服务，从而助您提高生产力与工作效率

常见问题

四方仪器_红外气体传感器Gasboard-2061价格？

四方仪器_红外气体传感器Gasboard-2061可以检测什么？

四方仪器_红外气体传感器Gasboard-2061参数规格？

四方仪器_红外气体传感器Gasboard-2061配套的耗材试剂？

四方仪器_红外气体传感器Gasboard-2061操作规程？

四方仪器_红外气体传感器Gasboard-2061使用注意事项？

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