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柜谷科技发展（上海）有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | PR500/510 |
| 品牌： | 雅马拓 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 837 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 价格范围 | 30万-50万 |
| 设备尺寸 | W438×D520×H760mm | 功率 | Max500W |
| 样品腔容积 | Φ215×305mm | 射频频率 | 13.56MHz |
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·PR500/510等离子灰化机
高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm
低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
用途
·去除光刻胶
·部品清洗
·界面活性处理
·微研磨
·硅晶圆，玻璃基板对应
特征
·大口径（Φ215mm）石英反应腔
·小型一体化设计
·操作简单的触摸屏方式（PR510型）
规格
型号 | PR500 | PR510 |
模式 | DP模式，桶型 | |
控制部 | 高频输出功率 | Max500W |
频率 | 13.56MHz | |
同调方式 | 自动协调 | |
反应部 | 反应腔 | 石英 Φ215×305mm |
反应气体 | 2系统（O2／CF4） | |
控制 | 手动 | 触摸屏自动控制 |
配管材质 | 不锈钢、特氟龙 | |
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 参照规格书 |
重量 | 约60kg | 参照规格书 |
电源 | 单相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
