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| 参考报价： | 面议 | 型号： | SU8600 |
| 品牌： | 日立 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 49 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 产品类型 | 落地式/传统大型 | 价格范围 | 500万-700万 |
| 电子枪类型 | 冷场发射 |
| 二次电子图象分辨率 | 0.6 nm@15kV；0.7nm@1kV | 放大倍数 | 20-2,000,000x |
| 背散射电子图像分辨率 | nm | 加速电压 | 0.5-30kV（标准模式） |
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FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。近年来，以Materials Integration为代表，其应用领域及用途在不断扩展，短时间内获取大量数据，减轻作业负荷成为市场的一大需求。为满足这一需求，此次特推出的SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。
在细微结构分析中，SU8600可以实现低加速电压观察，对高分子等易受电子束照射影响的材料进行高分辨观察。该系列产品的特点如下：
1．支持自动获取数据
在FE-SEM的观察和分析中，需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度，这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能，可避免人为操作导致的差异。
此外，随着仪器性能的提升，需要获取的数据种类与数量也在增加，手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator”，用户可根据自身需求设定条件，自动获取数据，这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。
2．增加获取信息的种类与数量
通过SEM能够收集到多种信号，且此系列产品最多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。
此外，为一次性获取大量信息，像素扩展到了40,960 x 30,720（选配），是之前型号的64倍。利用这一功能，可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构。
3．增强信号检测能力
SU8600开发了多个新型选配检测器，加强了对凹凸信息、发光信息的检测能力。此外，还提高了背散射电子信号检测的响应速度。
随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。
特点
超高分辨成像
日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下，也可获得超高分辨的图像。
0.8 kV电压条件下观察RHO型沸石的实例。左图为颗粒整体的形貌,右图为放大图像，颗粒表面细微的台阶结构清晰可见。低电压观察对于减少电子束损伤和获取表面形状信息较为有效。
样品提供：日本工业技术综合研究所 上村 佳大 先生
高衬度的低加速电压背散射图像
3D NAND截面观察;
在低加速电压条件下，背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。
3D NAND截面观察（加速电压：1.5kV）
快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.
5纳米制程SRAM的内部结构观察 （加速电压：30kV，扫描时间<1秒）
先进的自动化功能*
EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
灵活的用户界面
原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集。
1,2,4 或6通道信号可在同一个显示器上同时显示，可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。可以通过使用两个显示器来扩展工作空间，可定制的用户界面以提高工作效率。
*
减速模式下
| 机型 | SU8600 系列 | |
|---|---|---|
| 电子光学系统 | 二次电子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| 放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
| 电子枪 | 冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统。 | |
| 加速电压 | 0.5 to 30 kV | |
| 着陆电压 * | 0.01 to 20 kV | |
| 探测器 | （部分为选配项） | 上探测器(UD) |
| UD ExB能量过滤器，包含SE/BSE信号混合功能 | ||
| 下探测器(LD) | ||
| 顶探测器(TD) | ||
| TD能量过滤器 | ||
| 镜筒内背散射电子探测器(IMD) | ||
| 半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED) | ||
| 新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD) | ||
| 阴极荧光探测器(CLD) | ||
| 扫描透射探测器(STEM Detector) | ||
| 附件 | （部分为选配项） | 导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD) |
| 软件 | （部分为选配项） | EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素） |
| 样品台 | 马达驱动轴 | 5轴马达驱动（X/Y/R/Z/T） |
| 马达驱动轴 | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| 样品室 | 样品尺寸 | 最大直径：150 mm |
超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列信息由日立高新技术公司为您提供，如您想了解更多关于 超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
