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天津中环电炉股份有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | 1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统 |
| 品牌： | 中环电炉 | 产地： | 天津 |
| 关注度： | 7 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 生产商 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器类型 | 箱式炉 | 价格范围 | 5万-10万 |
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产品用途：
此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计，特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔
电极方面的研究，通过滑动炉实现快速加热和冷却。
产品组成：
CVD系统配置：
1.1200度开启式真空管式炉（可选配单温区及双温区）。
2.滑动系统分为手动、电动滑动，并配有风冷系统。
3.内外双石英管，采用真空可通气氛双法兰特殊连接。
4.多路气体流量控制系统（质子流量控制器和浮子流量控制器）
5.真空系统（可选配中真空或高真空）
产品特点：
产品独特性
1 控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。
2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性。
3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵，防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。
4 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动，等程序完成，炉体按设定的速度滑动，因有滑动限位功能，炉体不会发生碰撞，待样品露出炉体后，通过风冷系统快速降温。
5 双管真空密封法兰，反应气体可以在内外管之间发生反应，冷却气体可通过内管，从而使内管外壁温度降低。
系统名称 | 1200℃双管滑动式单/多温区CVD系统 | |
系统型号 | CVD-12II6SH-3Z/G | CVD-12III9SH-3Z/G |
最高温度 | 1200℃ | |
加热区长度 | 610mm | 940mm |
恒温区长度 | 400mm | 700mm |
温区 | 双温区 | 三温区 |
石英管管径 | 内管：Φ80mm 外管：Φ100mm | |
额定功率 | 4.8Kw | 7.2Kw |
额定电压 | 220V | 380V（三相） |
滑动距离 | 485mm | 650mm |
滑动方式 | 手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动，当程序完成，炉子按设定的速度滑动） | |
温度控制 | 国产程序控温系统50段程序控温； | |
控制精度 | ±1℃ | |
炉管最高工作温度 | ＜1200℃ | |
双管法兰连接 | 采用双法兰双卡箍连接可扩展多功能，并且分别独立对内管和外管进行真空和气体流量控制.密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需在第一次使用设备的时候安装 | |
气体控制方式 | 质量流量计 | |
气路数量 | 3路（可根据具体需要选配气路数量） | |
流量范围 | 0-500sccm(标准毫升/分，可选配）氮气标定 | |
精度 | ±1%F.S | |
响应时间 | ≤4sec | |
工作温度 | 5-45℃ | |
工作压力 | 进气压力0.05-0.3Mpa(表压力） | |
系统连接方式 | 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 | |
规格 | 高真空 | |
系统真空范围 | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
真空泵 | 真空分子泵理论极限真空度 | |
炉体外形尺寸 | 480×770×605mm | 410×1100×605mm |
系统外形尺寸 | 530×1440×750mm(不含高真空) | |
系统总重量 | 340Kg |
1200℃双管滑动式单/多温区CVD系统信息由天津中环电炉股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于 1200℃双管滑动式单/多温区CVD系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
