赛默飞 宣布推出用于分析先进逻辑半导体的新型故障定位解决方案

赛默飞世尔科技推出了 Thermo Scientific Meridian EX 系统，这是一种基于电子束的故障分析解决方案，旨在实现先进半导体逻辑技术的精确故障定位。

随着半导体制造商采用更复杂的架构来提供性能更高、更节能的半导体，他们正在突破现有故障分析解决方案的界限。在光学故障隔离工具仍可用于主流半导体的情况下，先进的逻辑器件现在需要新的解决方案来隔离和识别细微的电气缺陷，这些缺陷可能被器件背面和正面的金属互连完全掩盖。

赛默飞世尔的新型 Meridian EX 系统使用电子束探测被测设备。与市售的基于光学激光器的故障隔离解决方案相比，电子束的波长要小得多，可以帮助用户实现 10 倍的空间分辨率提高。这种改进有助于消除相邻电路的“串扰”，从而提供更可靠的表征数据。

此外，Meridian EX的电子束可以使用户从金属互连（例如配电层）捕获动态数据，这是光学故障隔离系统无法捕获的。

赛默飞世尔科技副总裁兼半导体总经理Mohan Iyer表示：“芯片制造商正在开发具有更小功能、新配电架构和新材料的器件，导致必须进行定位和表征的工艺缺陷数量增加。作为故障分析工作流程和应用的行业领导者，我们很自豪能够通过引入Meridian EX并将电子束探测技术添加到赛默飞世尔的高级器件分析工作流程套件中，帮助半导体制造商解决关键的故障隔离挑战。

功能包括：

新的专用电子柱设计可通过金属探测实现精度。

新的高速光束切换子系统可以定位细微的芯片缺陷。

行业标准的 Thermo Scientific Meridian 软件界面，易于使用并快速集成到现有的实验室故障分析工作流程中。