FIB-SEMHelios 5 EXL赛默飞 其他资料

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近年来，随着电动汽车和消费电子产品的高速发展，市场对电池的需求日益增长。锂离子电池由于它相比于其他商用可充电电池技术所具有的高能量以及高功率密度的性能优势而受到了极大的关注。为了进一步提高锂离子电池的性能以及安全性，从根本上了解电池材料的化学性质以及微观结构至关重要。

对高性能、高能效电子产品的需求正在推动具有更小、更密集的功能和复杂的3D结构的先进设备的发展。这些尖端微处理器、存储器件和其他产品的产能生产极具挑战性，需要对深埋在器件内部的特征进行高分辨率、原子级分析。透射电子显微镜（TEM）正日益成为这种分析的首选技术，并依赖于通过聚焦离子束（FIB）铣削生产的高质量样品。

赛默飞世尔科技Helios 5 EXL DualBeam是一款300mm全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM），旨在解决半导体行业中的TEM样品制备挑战。Helios 5 EXL DualBeam能够为当今最先进的工艺节点制备样品，包括亚5nm和门全方位技术。

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