赛默飞Verios 5 XHR SEM 扫描电子显微镜

利用亚纳米分辨率和高材料对比度进行纳米材料表征和分析。

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参考报价：	面议	型号：	Verios™
品牌：	赛默飞	产地：	捷克
关注度：	2483	信息完整度：
样本：		典型用户：	暂无
价格范围	500万-700万	电子枪类型	冷场发射

二次电子图象分辨率

在 30 kV STEM 下 0.6 nm

探测器

ETD、TLD、MD、ICD、射束电流测量、Nav-Cam+、IR 摄像机

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可以做哪些实验，检测什么？可以用哪些耗材和试剂？

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Verios 5 XHR SEM超高分辨扫描电镜

利用亚纳米分辨率和高材料对比度进行纳米材料表征和分析。

Verios 5 XHR SEM扫描电镜

Verios 5 XHR SEM扫描电镜采用出色的材料对比度在全 1 keV-30 keV 能量范围内提供亚纳米级分辨率。前所未有的自动化和易用性使任何经验水平的用户都能使用该性能。

体验 Verios XHR SEM扫描电镜所提供的优势：

使用行业最先进的电子源单色器UC+实现高分辨率纳米材料成像，可在 1-30 kV 范围内实现亚纳米性能。
对电子束敏感材料性能出色，具有 20 eV 着陆能量和高灵敏度电子镜筒内和透镜下检测器以及信号过滤，可实现在低剂量条件下获取超高分辨率和高信噪比图像。
凭借采用 SmartAlign 和 FLASH 技术的 Elstar 电子束镜筒，可大大缩短各种经验水平的用户获得纳米级信息的时间。
借助 ConstantPower 透镜、静电扫描和两种高精度压电陶瓷载物台的选择，获得一致的测量结果。
配备大腔室，配件的灵活性高。
使用 Thermo Scientific AutoScript 4 软件（可选配的基于 Python 的应用程序编程界面）实现仪器无人自动化 SEM 操作。

Verios 5 XHR SEM扫描电镜的主要特点

SmartAlign 技术

使用 SmartAlign 技术时，用户无需对电子束镜筒进行任何对中，这不仅能最大限度地减少维护，还能提高电镜生产率。

创新的电子光学系统

包括 Thermo Scientific 获得专利的 UC+（单色器）电子枪、ConstantPower 透镜和静电扫描，可实现准确稳定的成像。

亚纳米级分辨率

Elstar Schottky 电子源单色器（UC+）FESEM 技术和性能，实现从 1 至 30 keV 的亚纳米级分辨率。

一致的测量结果

Verios 扫描电镜非常适合实验室计量应用，能够在高放大倍数下校准经 NIST 认证的标准品。

低剂量操作和最佳对比度选择

结合了先进的高灵敏度、镜筒内 & 透镜下探测器和信号过滤功能可实现低剂量操作和最佳衬度选择。

轻松访问射束着陆能量

低至 20 eV 也可实现用于真正的表面表征的极高分辨率。

无人照看的 SEM 运行

借助 AutoScript 4 软件，可选配基于 Python 的应用程序编程界面 (API)。

大腔室

可从两种高精确稳定的压电陶瓷驱动样品台中进行选择。

规格

电子束分辨率	在 30 kV STEM 下 0.6 nm（可选）在 2-15 kV 下 0.6 nm 1 kV 时 0.7 nm 在 500 V 下 1.0 nm
标准检测器	ETD、TLD、MD、ICD、射束电流测量、Nav-Cam+、IR 摄像机
可选检测器	可选检测器 \| EDS、EBSD、RGB 阴极发光、拉曼、WDS 等
载物台偏倚（光束减速、可选）	标准配置包括高达 -4000 V
样品清洁	标配配置包括集成式等离子清洗装置
样品操纵	Verios 5 UC 5-轴电动共心载物台，配有 XYR 轴压电驱动。 XY 范围 150 x 150 mm2，70° 倾斜范围。通过门加载。	Verios 5 HP 已安装腔室，超稳定 5 轴所有压电驱动载物台。 XY 范围 100 x 100 mm2，70° 倾斜范围。通过自动负载锁加载。
腔室	379 mm 内径、21 个端口
软件选项	使用划分和拼接进行自动大面积采集的 Thermo Scientific Maps 软件；相关工作 Thermo Scientific AutoScript 4 软件；基于 Python 的应用程序编程界面图案生成软件 TopoMaps 用于图像彩色化、图像分析和 3D 表面重建

Verios XHR SEM

Verios 是 FEI 领先的 XHR（极高分辨率）SEM 系列的第二代产品。在尖端半导体制造和材料科学应用中，它可在 1 至 30 kV 范围内提供亚纳米量级分辨率以及增强的对比度，满足材料精密测量所需，同时又不会削弱传统扫描电子显微镜 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、样本灵活性和易用性等优势。

Verios 的生命科学应用

观测敏感的生物样本时，过高的成像电压带来的电子束会损伤样本，从而无法在细胞研究中观测关键细节。Verios XHR 扫描电子显微镜 (SEM) 最低可在 1kV 的电子束电压下工作，因而能最大限度减少样本干扰，同时又不会削弱分辨率和对比度。生物研究人员现在可以处理大量敏感的生物样本，并迅速生成高分辨率图像，从而洞察细胞器的关键功能和过程。

Verios XHR SEM 优势

全新的高对比度检测器 - 对敏感的生物样本进行最佳成像

电子束减速 - 在极低的电压下提供高分辨率成像和高表面灵敏度

电子束熄灭装置 - 限制敏感的生物样本的剂量

静电扫描 - 最大限度减少图像失真，并改善成像速度，从而进一步提高工作效率和质量

Verios 的电子工业应用

Verios XHR SEM 推出了全新的检测器硬件，将 SEM 的观测能力进一步拓展至 20 nm 亚纳米量级半导体器件。Verios 可提供最佳的低电压 SEM 分辨率和材料对比度，能够让半导体工艺控制实验室测量对电子束敏感的材料以及无法使用传统 SEM 仪器成像的极小结构。 Verios 还包括一些易于使用的新功能，能够为 22 nm 技术节点及以下的半导体结构提供最低的每样本成像和测量成本。

Verios 的材料科学应用

对材料科学家来说，Verios 可以将亚纳米表征拓展到当下正在开发的全新材料（例如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳米量级结构），从而让他们获得重要的新发现。无需转而采用 TEM 或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。Verios 可灵活用于各类研究应用，能够容纳全尺寸晶圆或冶金样本之类的大样本。您可以在高电流模式下执行快速分析，也可以开展精确的原型设计应用，例如电子束感应式材料直接沉积或光刻。

赛默飞Verios 5 XHR SEM 扫描电子显微镜信息由赛默飞电子显微镜（原FEI）为您提供，如您想了解更多关于赛默飞Verios 5 XHR SEM 扫描电子显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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