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Helios 5 EXL DualBeam双束扫描电镜

是一款300mm全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM),旨在解决半导体行业中的TEM样品制备挑战。Helios 5 EXL DualBeam能够为当今最先进的工艺节点制备样品,包括亚5nm和

参考报价: 面议 型号: Helios 5 EXL
品牌: 赛默飞 产地: 捷克
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

对高性能、高能效电子产品的需求正在推动具有更小、更密集的功能和复杂的3D结构的先进设备的发展。这些尖端微处理器、存储器件和其他产品的产能生产极具挑战性,需要对深埋在器件内部的特征进行高分辨率、原子级分析。透射电子显微镜(TEM)正日益成为这种分析的首选技术,并依赖于通过聚焦离子束(FIB)铣削生产的高质量样品。

赛默飞世尔科技Helios 5 EXL DualBeam是一款300mm全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM),旨在解决半导体行业中的TEM样品制备挑战。Helios 5 EXL DualBeam能够为当今最先进的工艺节点制备样品,包括亚5nm和门全方位技术。


描述300mm全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜
类型FIB-SEM
分辨率1.0 nm @ 15 kV;0.9 nm @ 1 千伏
单位面积each


Helios 5 EXL DualBeam双束扫描电镜信息由赛默飞电子显微镜(原FEI)为您提供,如您想了解更多关于Helios 5 EXL DualBeam双束扫描电镜报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

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