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安捷伦科技（中国）有限公司
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| 供应商性质：生产商 | 产地类别：国产 |
华海清科离子注入机（IBI）
大東流离子注入机iPUMA-LE iPUMA-LE
大東流离子注入机
大東流离子注入机iPUMA-LE
iPUMA-LE是华海清科在已有成熟垂直带状束流的基础上，根据行业先进技术的要求开发的12英寸水平带状大束流离子注入机。该装备运用了先进的束流爬坡技术，集成了磁场和电场模块，并搭载精准的量测技术，展现了良好的离子选能力和精准度，满足多种制程技术需求，已在集成电路制造中应用。
水平束流爬坡技术
磁场和电场双重筛选技术
束流调试能力处于国内领先水平
适用于各种半导体工艺技术
大東流离子注入机iPUMA-LE由华海清科股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于大東流离子注入机iPUMA-LE报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。
