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安捷伦科技（中国）有限公司
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| 产地类别：国产 | 供应商性质：生产商 |
华海清科离子注入机（IBI）
氢大東流离子注入机 iPUMA-HP
氢大東流离子注入机iPUMA-HP
iPUMA-HP是华海清科在已有成熟大束流的基础上，改造成12英寸氢离子大束流离子注入机。该装备配备了良好的粒子筛选和冷却模块，满足薄膜转移技术工艺中颗粒数和工艺温度的控制，还能够通过硬件升级提升产能的需求，已在大硅片制造中应用。
国内自主研发的氢大束流离子注入平台
良好的工艺冷却模块
良好的工艺均匀性
满足用户产能需求
氢大東流离子注入机由华海清科股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于氢大東流离子注入机报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。
