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安捷伦科技（中国）有限公司
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| 供应商性质：生产商 | 产地类别：国产 |
华海清科离子注入机（IBI）
冷工艺离子注入机 iPUMA-LT
冷工艺离子注入机iPUMA-LT
iPUMA-LT是华海清科在已有成熟大束流的基础上，根据成熟器件技术的要求开发的12英寸低温离子注入机。该装备配备了低温工作模块，温度检测单元和回温模块，满足成熟制程技术需求。
国内自主研发的冷工艺离子注入平台
离子注入工艺过程中维持低温状态
冷注入完后的晶圆回温技术
满足成熟制程的技术需求
冷工艺离子注入机由华海清科股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于冷工艺离子注入机报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。
