普发真空HiPace 1800涡轮分子泵

这款采用同类最佳混合轴承技术的真空泵，以坚固耐用和卓越性能著称。镀镍表面可轻松应对腐蚀性工艺，最大化设备正常运行时间。产品组合灵活，配备标准配件与通信工具，适配广泛场景。其高抽速和对轻质气体的优异压缩比，确保高效运行。适用于半导体（PVD、蚀刻、ALD）、薄膜涂层、分析仪器、热处理、医疗加速器、空间探索等高要求领域，为各类真空工艺提供可靠、长寿命的解决方案。

坚固耐用

同类产品中最佳的混合轴承技术，最大限度地延长正常运行时间，镀镍表面，适用于腐蚀性应用工艺

灵活

广泛的产品组合，标准配件和通信工具

性能卓越

高抽速，对轻质气体具有出色的压缩比

抽速

市场和应用

分析及实验室

l 等离子体物理

l 太空探索

l 超高真空

车辆及运输

l 热处理

l 太空探索

l 电子束焊

医院和医疗设施

l 医用加速器

l 诊断成像

冶金

l 电子束焊

l 真空铜焊 / 钎焊

l 热处理

半导体应用

l PVD

l 检验与计量

l 金属和高 K 蚀刻

l LPCVD / 扩散

l 光刻技术

l 氧化物蚀刻

l 剥离 / 灰化

l ALD

l PECVD

l Si Poly etch

l Load lock 和 传输

l 轻沉积

l 离子注入

太阳能发电行业

l 电池制造

薄膜镀层

l 光学涂层

l 装饰涂层

l 耐磨损涂层

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。