硬度计创诚致佳三菱锥压头

三菱锥压头，又名玻璃（Berkovich）压头，是广泛应用于纳米压痕技术的一种压头，呈三菱锥形状。
通过对材料表面施加压力，然后测量压痕区域，以此来评价材料的机械性能，这就是压痕技术。
传统的压痕方法是使用特定形状的压头，在一定的压力下压入被测样品，保持一段时间后卸载，然后使用标尺或显微镜测量压头在材料表面留下的压痕半径或对角线长度，以此来计算材料的力学性能参数值，比如硬度。
这种测量方法直接而简单，但分辨率较低，甚至使用高精度仪器也只能在压深不小于10um的情况下测得硬度。此外，这种方法的压痕尺度较大，不适用于测试膜厚较小（＜2um）的薄膜材料的性能。
此外，这种方法先加载，后离线测量，因此得到的只是材料的塑性性能。随着现代微电子材料科学的发展，试样尺寸越来越小，传统的压痕测试技术已经无法满足新材料的需要。此外，材料科学家们不仅要了解材料的塑性性质，还需要掌握材料的弹性性质。
纳米压痕技术，又称深度敏感压痕技术，通过计算机控制载荷连续变化，并在线监测压深量。由于施加的是超低载荷，加上监测传感器具有比Inm更优越的位移分辨率，所以可以获得小到纳米级（0.1nm~100nm）的压深，适用于超薄层材料性能的测试。

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