扫描电镜Sigma 系列产品场发射扫描电子显微镜

Sigma系列产品是针对高品质成像和高级分析的场发射扫描电子显微镜。该系列产品具有灵活的探测功能，并采用4步工作流程，将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的Gemini电子光学元件。用户可以根据需要选择多种探测器，用于颗粒、表面或纳米结构成像。

Sigma系列产品带有半自动的4步工作流程，可节省大量时间，并提高工作效率。Sigma300产品性价比高，而Sigma500产品装配有背散射几何探测器，可快速便捷地实现基础分析。不论时间或样品类型，用户均可获得精准可重复的分析结果。此外，Sigma产品还可以根据需求定制灵活探测，利用先进的探测技术表征所有样品。

Sigma产品还具备自动化加速工作流程的功能，用户可以在多用户环境中从快速成像和节省培训方面获益。此外，Sigma系列产品集扫描电子显微镜与基本分析于一体，使用背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品。基于成熟的Gemini技术，其设计考虑了电场与磁场对光学性能的影响，并降低了场对样品的影响，使得即使对磁性样品成像也能获得出色的效果。

Sigma产品还集成了EDS解决方案，可以同时实现高清晰度成像和低能量分析应用。此外，还提供完全集成化的拉曼成像与扫描电镜联用系统，可以获取样品中化学结构的指纹信息，分析获得样品分子结构和结晶信息，并进行3D分析和SEM图像关联。

产品场发射扫描电子显微镜技术参数

型号：Sigma 300

分辨率：1.0nm@30kVSTEM、1.0nm@15kV、1.8nm@1kV

放大倍数：10-1,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30kV（无需减速模式实现）

探针电流：3pA～20nA（100nA选配） 稳定性优于0.2%/h

低真空范围：2-133Pa（Sigma300VP可用）

样品室：365mm（φ），275mm（h）

样品台：5轴优中心全自动

X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10o-90o R=360o连续

系统控制：基于Windows7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

存储分辨率：32kx24kpixels

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途