高精度测量显微镜

光路

有限校正光学系统

—

无限校正光学系统

BF(亮视场)

无限校正光学系统

BD(亮/暗视场)

无限校正光学系统

BF(亮视场)带LAF功能

无限校正光学系统

BF(亮/暗视场)带LAF功能

标准分划板(内置)

90º点划线十字线(线宽5μm)

可调瞳距

西登托夫型调节范围：51-76mm

光路切换比

观察/TV显微摄影=50/50

垂直倾斜角度

25°

倾斜

TV端口

作为标准配置提供

观察图像

正像

目镜

放大倍率

10X, 15X, 20X

物镜

(可选)

可选单筒目镜(配有一个目镜)

或双筒目镜(配有两个目镜)

配备两个10X目镜

ML系列物镜

1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X

-

BF(亮视场)

-

M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo

BD(亮/暗视场)

-

BD Plan Apo, BD Plan Apo SL

转塔

(可选)

BF(亮视场)

-

(配有四孔手动传感器/电动五孔传感器)

BD(亮/暗视场)

-

(配有四孔手动传感器/电动五孔传感器)

聚焦部分

*大工件高度

150mm

测量精度

(1.5+0.01L) μm L：测量长度(mm)

驱动方式

使用控制手柄进行电动控制

照明装置

透射照明装置

远心光学系统，内置孔径光阑，卤素灯泡(12V，50W)，100级光强度可调，光纤冷光照明

反射照明装置

科勒照明，可变孔径光阑机制，卤素灯泡(12V，100W)，100级光强度可调，光纤冷光照明

工作台

测量范围（X*Y）

250×150mm

测量精度

(X和Y轴无负载)

(0.9+0.003L) μm L：测量长度(mm)

工作台尺寸

460×350mm

载物玻璃有效尺寸

300×200mm

旋转角度

±3º

*大承重

30kg

驱动方式

使用手柄进行电动控制

检测器

高精度光栅尺(*)

数显

分辨力

0.01μm

显示轴

X, Y, Z

数据处理装置

QM-DATA200或Vision Unit

操作部分

手柄急停按钮

可用

精细间距

可用

数据输出

可用

数字显示复位

可用

照明光强度控制

可用

LAF（只对焦）

-

-

可用

LAF（跟踪对焦）

-

-

可用

转塔控制

-

可用 (安装电动转塔时)

更换灯泡时，卤素

灯泡用于透射照明

标准：02APA527(12V50W)

更换灯泡时，卤素灯

泡用于反射照明

标准：517181(12V100W)

高亮度：12BAD602(12V100W)