纳米压痕仪

精度的新时代

第三代安东帕机械表面测试仪可测量各种材料的表面机械特性，包括最硬的类金刚石 (DLC) 膜和最软的水凝胶。高精度仪器可测量别人的估计值。

安东帕涵盖表面机械表征的四种最重要的测试方法。纳米压痕仪提供薄膜、

涂层或基体的机械特性，如硬度和弹性模量、蠕变、疲劳、应力应变、 弹塑性能。划痕测试仪用于表征膜-基体的特性，并量化结合强度和摩擦力等参数，从而确定涂层的结合力、耐刮伤性和耐磨损性，用于科学研究和质量控制。使用摩擦磨损分析仪可以研究摩擦、磨损和润滑特性，此外，磨损测试仪（比如球磨仪）能够快速简单地测定薄膜涂层的厚度。

我们是测量，别人是估计

安东帕是唯一一家能够提供具有真实力传感器的高分辨率纳米压痕和纳米划痕测试仪的公司。这意味着载荷是直接用一个传感器连续测量，而不是通过致动器提供的数据来估算。 

仪器组合

采用一流设计的安东帕的机械表面测试仪，以紧凑的模块提供精确高效的测试解决方案。事实上，可以在一个测试平台上轻松组合不同的模块（划痕、压痕、微摩擦）。根据您的要求和应用，可以在一个平台上组合不同的测试模块，也可以使用单独的测试方法和独立设备 - 按照您的需要来选。

应用和行业

不论是科研还是工业应用，都可实现较高的生产效率和处理量：

测试的材料来自各行各业，例如切削工具、汽车、电子器件、生物医学、半导体、聚合物、光学部件、民用核能、MEMS 以及手表业。

这些仪器还可用于各种研究领域：

- 粘弹性

- 应力 - 应变曲线

- 应变硬化

- 断裂韧性

- 表面成分扫描

- 深度曲线

测量原理

划痕测试原理

安东帕划痕测试仪（先前属于瑞士 CSM 公司）非常适合测量薄膜和涂层的表面机械特性（如结合力、断裂和变形）。

划痕测试仪能够通过各种互补的方法检定膜 - 基体的性能，并量化摩擦力和附着强度等参数，已成为科学研发和质量控制方面不可或缺的工具。划痕测试仪技术可以在待测样品上用金刚石划针形成可控的划痕。

划针以恒定、递增或渐进的载荷划过涂层表面。达到一定的载荷时，涂层会开始脱落。通过切向力、穿透深度和声发射传感器以及内置光学显微镜观察，可以非常精确地检测临界载荷。通过使用不同的传感器（声发射、划痕深度、摩擦力）和视频显微镜观察获得临界载荷数据来量化不同的膜 - 基材组合的结合性能。

拥有专利、独一无二的同步全景模式，随时随地可

以分析

安东帕是美国专利号 8261600 和欧洲专利号 2065695 的独家持有人。划痕测试仪的全景成像模式是该软件最重要的特点。划痕实验后，可以采用全景模式进行记录。当采用全景模式记录时，可以随时重新对测量结果进行分析。

获专利的真实压入位移测量（美国专利号 

6520004，欧洲专利号 1092142）适用于材料弹性

恢复的研究

在划痕前后及划痕过程中，用位移传感器 Dz 测量样品的表面轮廓。这样，可以在划痕过程中和结束之后来评估压头在样品表面的划痕深度，以更加可靠地了解耐划伤性能和耐损伤性能。具有随时间进行多次前后扫描的独特功能，可用于粘弹性特性的高级研究。 

主动力反馈以获得完全可重复性

主动力反馈系统确保了划痕测试的重复性，即使研究更加复杂的表面如非平面、粗糙或曲面样品时，也是如此。安东帕的测试仪是唯一商业化的具有主动力反馈的系统。

自动判定临界载荷以优化结果

划痕测试仪可以自动判定临界失效点。

利用摩擦力划痕深度或声发射信号，通过我们的经验算法可以完全自动分析信号的差异，无需人为因素即可定义临界失效载荷。

NST³ 纳米划痕测试仪

市场上精确度最高的纳米划痕测试仪

纳米划痕测试仪专门用于表征厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂层的结合力。纳米划痕测试仪可用于分析有机和无机涂层以及软硬涂层。纳米划痕测量头采用独特的设计，包括两个传感器，用于测量与先进的压电致动器相关的压入载荷和压入位移测量。这些独特的功能提供了快速的响应时间

MST³ 微米划痕测试仪

针对高需求用户范围广泛的测试仪

微米划痕测试仪广泛用于表征厚度小于 5 μm 的薄膜和涂层的结合力。微米划痕测试仪也可用于分析有机和无机涂层以及软硬涂层。

应用包括薄的和多层的 CVD、PVD、PECVD、光刻胶、油漆、涂料和其他各种薄膜。科研和工业领域将此仪器用于微电子、光学涂层、保护和装饰表面。基体可以是硬的或软的，包括玻璃、半导体、可折射材料和有机材料。

广泛的测试可能性：硬度、弹性模量、粘弹性、蠕变和应力 - 应变曲线

载荷和穿透深度范围广泛，使您可以测量各种材料的表面机械特性软硬材料以及厚薄涂层都可以测试。硬度、弹性模量以及诸如粘弹性、蠕变和应力-应变曲线等其他特性可以通过单次测量获得。

采用独特的表面参比技术，具有极高的稳定性

表面参比技术保护针尖不受碰撞，具有很高的热稳定性和高框架刚度。当压头测试材料时，参比针尖探测表面位置。因此，我们的仪器不需要任何热漂移校正。

“快速点阵”压痕模式可在几分钟内获得高度精确的结果

安东帕的压痕测试仪每小时测量高达 600 次，可实现高样品通量，并提供完整的仪器化压痕曲线。 

准确的电动工作台可精确定位

工作台以 1μm 的精度向每个方向移动样品。只需点击一下，样品就会从显微镜移动到压痕测试位置。还提供自动化矩阵和多重采样测试。

多物镜视频显微镜可以清晰显示样品

通过高质量的多物镜视频显微镜可观察压痕测量前后的表面形貌。转塔最多可容纳 4 个目标。另外可以在显微镜下定义视觉矩阵，以对感兴趣的区域进行压痕测量。

生物压痕测试仪的概念是基于成功的超纳米压痕技术，该技术扩大了行程范围，改进了力分辨率并且完全兼容流体测试。 可以轻松表征时间相关的特性，如蠕变、流动特性或孔隙弹性 。

集成式载荷传感器能够施加最大 20 mN 的载荷（针对软材料进行了调整）。位移传感器可以测量 100 μm 的大行程。

弹性模量也可以使用赫兹模型，通过压痕曲线的载荷部分来计算，它更适合生物材料。

安东帕生物压痕测试仪™ 可与不同种类的压头配合使用。

UNHT³ HTV 高温真空超纳米压痕仪

安东帕是环境可控、高温仪器化压痕仪的先驱，其各种解决方案的温度最高 800℃，最低-150℃。致动系统基于超纳米压痕测试仪 (UNHT3) 的专利技术（美国专利号7685868，欧洲专利号 1828744）带有两个结合了高分辨率电容式传感器的独立式位移和载荷传感器。热障、水循环和反射镜可防止测量头发热，从而实现无与伦比的稳定性。

此外，高真空箱可减少对流中的氧化和热量损失。环境条件下最低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内最低热漂移 (< 3 nm/min) 确保了测量的高度可靠性。

快速简单地测定涂层厚度

安东帕的球磨测厚仪能够快速、简单、方便的测定薄膜涂层的厚度。简单的球坑法是简单快速精确地确定涂层厚度的有效方法，适用于单层和多层膜完全符合相关国际标准。

简单而准确地评估结果

具有两种物镜（5X 和 10X）的 USB 彩色摄像头的视频模块为软件提供球坑图像。根据图片和测量工具并考虑接触的几何形状

RST³ Revetest® 大载荷划痕测试仪

行业标杆

Revetest® 划痕测试仪用于评估具有几微米厚度的硬质涂层材料。这些涂层可以是有机的或无机的，可以用于磁性和装饰性涂层，包括 CVD、PECVD、PVD、金属化和钝化层或摩擦和磨损保护涂层。所使用的基体可以是折射和有机材料、矿物、玻璃、半导体、合金和金属。

Revetest® 划痕测试仪配备外部数据采集单元和声发射检测装置。它也符合 ASTM C1624 和 EN 1071 标准的要求。安东帕公司已经在全球范围内销售了超过 1500 台 Revetest® 大载荷划痕测试仪。

纳米压痕仪信息由北京创诚致佳科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于纳米压痕仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途