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SPM300系列半导体参数测试仪

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参考报价: 面议 型号: SPM300系列
品牌: 卓立汉光 产地: 北京
关注度: 419 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

设备概览

基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪,具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析,空间分辨率< 800nm (典型值),也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件,可对数据进行拟合计算,直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定,重复性好,可用于实验室检验或者产线监测。

① 光路接口盒:

内置常用激光器及激光片组,拓展激光器包含自由光及单模光纤输入;

② 光路转向控制:

光路转向控制可向下或向左,与原子力、低温、探针台等设备连用,可升级振镜选项

③ 明视场相机:

明视场相机代替目镜

④ 显微镜:

正置科研级金相显微镜,标配落射式明暗场照明,其它照明方式可升级

⑤ 电动位移台:

75mm*50mm 行程高精度电动载物台,1μm 定位精度

⑥ 光纤共聚焦耦合:

光纤共聚焦耦合为可选项,提高空间分辨率

⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合:

标配CCD- 狭缝耦合方式,可使用光谱仪成像模式,高光通量

⑧ 光谱CCD:

背照式深耗尽型光谱CCD相机, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

⑨ 320mm 光谱仪:

F/4.2高光通量影像校正光谱仪, 1*10-5 杂散光抑制比

SPM300 半导体参数测试仪主要应用

选型表

型号

描述

SPM300-mini

基础款半导体参数分析仪,只含一路532nm 激光器,常规正置显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台

SPM300-SMS532

多功能型半导体参数分析仪,含532nm 激光器,常规正置显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台,

可升级耦合最多4 路激光器

SPM300-OM532

开放式半导体参数测试仪,含532nm 激光器,定制开放式显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台,

可升级耦合最多4 路激光器

系统参数

项目

详细技术规格

光源

标配532nm,100mW 激光器,其他激光可选,最多耦合4 路激光,可电动切换,功率可调节

光谱仪

320mm 焦距影像校正光谱仪,光谱范围90-9000cm-1,

光谱分辨率

2cm-1

空间分辨率

<1μm

样品扫描范围

标配75mm*50mm,最大300mm*300mm

显微镜

正置显微镜,明场或者暗场观察,带10X,50X,100X 三颗物镜;开放式显微镜可选

载流子浓度分析

测试范围测试范围1017 ~ 1020 cm-3,重复性误差<5%

应力测试

可直观给出应力属性(拉力/ 张力),针对特种样品,可直接计算应力大小,应力均匀性分析

(需额外配置电动位移台), 应力解析精度0.002cm-1

晶化率测试

可自动分峰,自动拟合,自动计算出晶化率,并且自动计算晶粒大小和应力大小

测试案例举例



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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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