SPM600系列半导体参数分析仪

SPM600 系列半导体参数分析仪是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。

功能：

■ 单色光/变功率IV；

■ 不同辐照度IT曲线（分辨率200ms）

■ 不同偏压下的IT曲线

■ LBIC，Mapping

■ 线性度测试

■ 响应速率测试

■ 瞬态光电压（载流 子迁移率）

■ 瞬态光电流（载流子扩散长度）

光源选项

卓立汉光根据样品光谱相应范围选择适合的光源，如EQ 光源，氙灯光源，氙灯溴钨灯复合光源。

EQ光源

特点：
■ 光谱范围宽：190-1700nm宽光谱范围；

■ 光源本身发光点小，百微米级别；

■ 紫外波段亮度高；

■ 寿命长，理论寿命可达9000h；

■ 体积小，重量轻；散热好；

氙灯光源
特点：
■ 光谱范围宽：250-1700nm宽光谱范围；

■ 光源本身发光点较小，mm级别；

■ 总功率大，亮度高；适合紫外-可见-近红外光谱测试；

■ 灯泡更换简单，成本低；

氙灯卤素灯双光源

特点：

■ 光谱范围：250-2500nm

■ 适合紫外、可见、近红外，且可见、近红外波段光谱平滑

■ 灯泡更换简单，成本低。

数采选项

测试案例

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途