日本MSA 高温炉 硅片加热炉 RP10020

主要应用。

用于加热大型基材和玻璃的升降机，带盖热板PA-LIF系列，晶圆加热（RP系列），材料表面研究和评估，无机材料热处理，耐热性评估，烘烤等。RP系列有双面加热和石英钟罩的选项，可以用于材料的气体置换。 RP系列也可用于气体置换和材料的加热。

MSA工厂加热知识

各种技术诀窍集中在材料（超级耐热板、热变形对策、钛合金底盘）、加热器设计、绝缘、热辐射等方面。

高性能和多功能性

可提供定制的附加功能，例如用于加热和运输大型板材的升降机功能（垂直板材驱动），以及处理加热过程中板材变形的真空吸盘功能。

安全功能

该控制器配备了安全功能，包括超温监测功能、紧急停止功能、泄漏检测功能和负载断开功能。

温度控制范围：室温至1000℃ 温度分布：±3%或更少（在加热区域内）

尺寸：RP-10080-4（用于4英寸），-6（用于6英寸），-8（用于8英寸）。

选项：石英钟罩、质量流量等，其他定制。

特点

超高温（MAX 1000°C）硅片加热炉 - 平行板式，用于均匀加热 - 气体吹扫功能（惰性气体N2，Ar）。

控制器上标配的数字流量计 50 L/min (设置单位0.1 L/min)

氧气兼容的质量流量型选项 - 两个控制器（用于上、下层热板），具有温度程序功能

石英钟罩（气体吹扫功能）选项

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途