ALICAT 双向质量流量控制器

产品描述：

量程-0.5SCCM～0.5SCCM到-3000SLPM～3000SLPM,200:1量程比，内置98种气体，100ms响应，优于1%精度

产品特点

美国ALICAT 双向型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。双向型质量流量控制器可通过定制化的高速比例调节阀，正向或反向精确测量与控制过程气体的质量流量、体积流量和压力。采用双阀门设计模式，一台阀门专门用于控制进气、另一台用于排气，实现了仅用一台设备便可同时控制开放式或密闭容器内上游、下游端流量，以及正压、背压。

● 数字化产品，双向流量控制
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：可优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

技术参数

美国ALICAT 双向型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。双向型质量流量控制器可通过定制化的高速比例调节阀，正向或反向精确测量与控制过程气体的质量流量、体积流量和压力。采用双阀门设计模式，一台阀门专门用于控制进气、另一台用于排气，实现了仅用一台设备便可同时控制开放式或密闭容器内上游、下游端流量，以及正压、背压。

● 数字化产品，双向流量控制
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：可优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

产品选型

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途