400-6699-117转1000
您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
参考报价: | 面议 | 型号: | FSM128NT |
品牌: | FSM | 产地: | 美国 |
关注度: | 34 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 | |
供应商性质 | 区域代理 | 产地类别 | 进口 |
价格范围 | 80万-100万 |
400-6699-117转1000
FSM128 薄膜应力及基底翘曲测试设备
FSM推出基于商业化应用的激光扫描光学杠杆技术,主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。该设备频繁使用在分析解决诸如薄膜裂纹,分层,突起和空隙是如何形成的问题。全新设计的FSM128系列设备,装备有精密的光学扫描系统,特别适合在半导体,三五族,太阳能,微机电,数据存储和液晶面板行业的下一代器件研发和生产中使用。
1) 快速、非接触式测量
2) 128型号适用于3至8寸晶圆
128L型号适用于12寸晶圆
128G 型号适用于470 X 370mm样品,
另可按要求订做不同尺寸的样品台
3) 双激光自动转换技术
如某一波长激光在样本反射度不足,系统会自动使用
另一波长激光进行扫瞄,满足不同材料的应用
4) 全自动平台,可以进行2D及3D扫瞄(可选)
5) 可加入更多功能满足研发的需求
6)电介质厚度测量
500 及 900°C高温型号可选
7) 样品上有图案亦适用
技术指标:
1) 测量方式: 非接触式(激光扫瞄)
2) 样本尺寸:
FSM 128NT: 75 mm to 200 mm
FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm
FSM 128G: 550×650 mm
3) 扫瞄方式: 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选)
4) 激光强度: 根据样本反射度自动调节
5) 激光波长: 650nm及780nm自动切换(其它波长可选)
6) 薄膜应力范围: 1 MPa — 4 GPa
(硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron)
7) 重复性: 1% (1 sigma)*
8) 准确度: ≤ 2.5%
使用20米半径球面镜
9) 设备尺寸及重量:
FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs
FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs
FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs
电源 : 110V/220V, 20A
FSM128 薄膜应力测试设备应力测试及晶圆翘曲测试信息由上海螣芯电子科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于FSM128 薄膜应力测试设备应力测试及晶圆翘曲测试报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途