Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统

Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆，或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上，然后仪器自动处理。

Säntis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜，可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。

优点：

1、控制可\达300毫米的晶圆

2、高\效的CL-SEM扫描成像效率

3、同时进行电镜成像和光学信号采集

4、边缘检测，晶圆准确定位(优于10µm)

5、对晶圆翘曲度自动映射和调整

特点：

Säntis 300系统提供3种不同的采集模式，为不同的需求和应用量身定制:

• 面扫描模式（FWBrush模式）

• 线扫描模式（AWPix模式）

• 多点扫描模式

工业市场应用：

1、GaN 及其应用:

 高强度LED要求高发射效率和高可靠性。以汽 车应用为例，LED故障影响安全，危及人身安 全；UVC LED 要求高的发射效率和高的发射均匀 性；LED故障会使人的生命处于危险之中，例如在灭菌和消毒应用中。

2、光子学：激光光子学

3、电力电子应用 GaN：电力电子应用需要更大的功率、更小和更轻 的包装，例如物联网或汽车应用

4、II-VI族材料：GaAs 及其应用: 太阳能, 电力电子；电力电子SiC ；µLED

其他应用举例：

微观结构发光二极管(MicroLed)

LED质量控制

GaN中的螺纹位错缺陷计数

碳化硅衬底质量控制

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。