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等离子清洗机
参考报价: 面议 型号: PDC200/210/510
品牌: 暂无 产地: 暂无
关注度: 103 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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仪器简介:

研究开发用zei适合等离子清洗机

用途:

CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理

 



技术参数:
型号 PDC200 PDC210 PDC510
模式 RIE模式(DP选配) DP模式 DP/RIE切换方式
电极构造 平行平板电极(固定)
高频输出功率 MAX300W                    Max 500W
频率 13.56MHz
控制方式 自动联动,液晶触摸屏控制
反应室尺寸 400×250×150mm 500×300×200
电极尺寸 250×170mm 400×200mm
反应室材质                                         一次性一体成型铝腔(防腐蚀,可对应CF4
反应气体 2系统(Ar/O2
填充气体 N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制 流量计 聚合控制器
真空泵 另行选配 油回旋真空泵(排气量345L/min) 油回旋真空泵(排气量500L/min)
气体导入口 反应气体2套,填充气体1套
外型尺寸 540×600×600mm 540×600×600mm 700×700×700mm
电源 单相AC100V 15A 50/60Hz                                          三相AC100V 15A 50/60Hz


主要特点:

RIE模式标配(DP切换为选购)
等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面

等离子清洗机信息由雅马拓科技贸易(上海)有限公司为您提供,如您想了解更多关于等离子清洗机报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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