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DVM涡轮分子泵系列

DVM涡轮分子泵非常适合应用于实验室对超高真空的需求。分子泵采用精密脂润滑陶瓷轴承，免维护时间远远大于采用油润滑轴承分子泵，相比油润滑轴承分子泵，其更适合洁净气体的抽吸。

主要应用场景：

1. 适合抽吸洁净气体、少量水蒸气、微量腐蚀性气体

2. 适合应用于物理、半导体领域的配套装置，如：PVD、PLD、MBE、CVD、同步辐射

3. 适合配套实验室深冷研究装置

4. 适合配套分析实验装置，如：电镜、质谱、生物质谱分析装置

5. 适合配套超高真空提取SAFE装置

主要特点：

1. DVM分子泵采用KF真空接口模块，极限真空可达5×10^-7mbar （自适应中等转速，取决于系统密封性）

2. DVM分子泵采用CF真空接口模块，极限真空可达2×10^-9mbar (极限真空取决于接口密封形式，非分子泵的性能指标；自适应到最高转速，取决于系统密封性）

3. 分子泵前级泵（要求小于5mbar）可选：干式隔膜真空泵、干式变频涡卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、旋片真空泵（油泵）等

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途