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北京波威科技有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | SIT-200 |
| 品牌： | Alnair | 产地： | 暂无 |
| 关注度： | 2 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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硅片厚度测试仪 SIT-200
产品介绍：
波威官方代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速扫频可调谐激光探测硅片厚度的硅片厚度测试仪。 基于高速波长扫描的激光器可以实现每波长更高功率的测量，从而实现高动态范围，甚至在未抛光的晶片上也可以进行厚度测量，例如在湿法蚀刻期间/之后。硅晶片厚度传感器由精确调谐的波长扫描激光源，聚焦传感器和光接收器（PD）构成。 波长扫描光聚焦在目标上，并且在通过传感器之后由PD检测由目标表面和背面的反射形成的干涉图案。
产品特点：
l 用于硅晶圆的全光学，非接触式厚度传感器
l 高动态范围，能够测量无序表面
l 能够在湿法蚀刻期间进行原位测量
产品应用：
l 硅片厚度测量
产品参数：
主要技术指标 | 硅片厚度测试传感器（SIT-200） | |
SIT-200 | ||
测试功能 | - | 硅片厚度 |
厚度测试范围 | um | 10~500（n=3.5） |
激光器 | nm | 波长扫描激光器，1515nm-1585nm |
光输出功率 | mW | 0.6（Class 1） |
引导光源（基准光源） | - | RED LD，Laser class 1M |
测试时间 | ms | ≥20 |
重复率 | um | ＜0.1（3σ） |
监控输出 | - | 干扰信号（电信号） |
程控接口 | - | Ethernet（网口） |
电源 | - | AC100-240V（50/60Hz） |
尺寸（WxHxD） | mm | 364x147x391 |
重量 | Kg | 9.0 |
其他说明 | 更多产品信息，请联系北京波威科技的销售人员确认！ | |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
