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安捷伦科技（中国）有限公司
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SBC-16 是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性：
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
操作容易快捷， 控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au 靶为标配）， 靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统 | |
靶材 | Au 靶为标配，可选 Pt，直径 57mm x 0.1mm 厚 |
标准样品台 | 可以装载 12 个 SEM 样品座，高度可调范围为 60mm |
旋转倾斜样品台（选配） | 旋转速度： 0~60rpm 连续可调，倾斜角度： -90 °~ 90°连续可调； 不锈钢腔体：直径 120mm X 高 75mm； 观察窗：直径 120mm X 高 45mm； 标配旋转台直径 40mm，可放 4 个标准样品台， 其它规格可订 做； 具有双重锁紧装置， 可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱 落。 |
溅射电流 | 微处理器控制， 安全互锁，可调，电流 5~30mA，程序化数字控制 |
计量表 | 真空： Atm - 1*10-3 mbar，电流： 0~99mA |
控制方法 | 带有 “开始”“暂停”按钮的微处理控制器（1－999s），自动抽气、溅 射、关机后自动放气。 |
真空系统 | |
抽气速率 | 133L/MIN |
极限真空 | 10-4 mbar 级 |
噪音 | 56dB |
SBC-16磁控离子溅射仪由北京中科科仪股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于SBC-16磁控离子溅射仪报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。
