精选 KYKY-EM82系列超高分辨场发射扫描电镜

KYKY-EM8200是中科科仪推出的超高分辨场发射扫描电镜，采用新一代低像差物镜、减速样品台和Inlens探测器技术，实现低压高分辨成像，适用于新能源、半导体等领域。其亮点包括高效电子光学系统、低噪声信号探测及智能化用户界面设计，支持光学导航和自动检测功能，提升操作便捷性。该设备集成丰富的图像处理与测量软件，并提供定制化扩展接口，满足多样化科研需求。技术优势与模块化设计使其成为高精度微观分析的理想工具。

一、KYKY-EM8200高分辨场发射扫描电镜 产品简介

KYKY-EM8200超高分辨场发射扫描电子显微镜，采用全新电子光学设计，基于减速样品台、新一代低像差物镜、Inlens探测器等技术，集成丰富的图像处理功能，为新能源、半导体等用户提供全新解决方案。

二、KYKY-EM8200高分辨场发射扫描电镜  产品特点

1、高分辨电子光学系统  新一代低像差物镜    减速样品台   低压高分辨成像

2、高效便捷的用户体验  全新用户界面设计  丰富的软件测量功能  光学导航   着陆束流检测  

3、高性能信号探测系统  低噪声Inlens探测器  自动推入式背散射探测器  丰富的探测器扩展接口

三、KYKY-EM8200高分辨场发射扫描电镜  技术参数

四、KYKY-EM8200高分辨场发射扫描电镜  产品功能

1、二次电子探测器

高信噪比，高带宽 · 大景深，表征样品表面形貌结构

2、不同探测器同时成像

· 显示SE，BSE 双通道图像

· 可任意设置不同探

· BSE探测器，反应样品表面的成分特征

3、阴极荧光成像

4 大图拼接

· 样品区全域视场矩阵自动规划，拍照流程无需人工干预

· 百千张级数据量快速拼接实时预览，构建全域清晰扫描大图

5 粒度分析

采用深度学习的复合图像处理算法，自动识别比例尺，精准识别图像中的颗粒，多种形态参数的统计与导出，

掺铝碳酸钴

多种形态参数结果

多种形态数据输出

6 关键尺寸测量

具备距离，角度，水平线/垂直线/圆径测算等，丰富的图像测量功能

五、KYKY-EM8200高分辨场发射扫描电镜  定制能力

1、电子束曝光（EBL）

l 功能：基于扫描电镜的电子束曝光系统（EBL），能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用先进的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM 的观测功能，这使得用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高了工作效率和便利性。

l 参数：最小束斑 优于5nm;  探针电流 1pA~20nA;  线宽 优于15nm

l 应用场景

科研教学、微电子制造、原型器件开发、纳米材料制备、生物医疗研究

l 应用案例

二维周期阵列结构加工

50nm线宽/周期200nm光栅结构

60nm直径点阵周期结构

声表面波碳纳米管谐振器耦合器件

场效应晶体管电极

六、KYKY-EM8200高分辨场发射扫描电镜  应用案例

KYKY-EM82系列超高分辨场发射扫描电镜由北京中科科仪股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于KYKY-EM82系列超高分辨场发射扫描电镜报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。