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安捷伦科技（中国）有限公司
磁悬浮CVS系列CXF-320/3001CVS分子泵专为苛刻工艺设计，采用高性能气体输送涡轮叶片，耐反应产物沉积，抽速高达2950L/s（N2），极限压强达1E-7Pa。支持光刻、CVD、离子刻蚀等高端应用，具备宽范围压缩比与2100sccm最...
磁悬浮CVS系列CXF-250/2301CVS分子泵采用高性能气体输送涡轮叶片，耐反应产物沉积，抽速高达2150 L/s（N2），极限压强可达1E-8 Pa（金属密封）。支持水冷、保护气接口与宽电压电源，启动仅≤8分钟，适配光刻、CVD、离...
磁悬浮CVS系列CXF-200/1401CVS分子泵专为光刻、PVD、CVD等高端半导体工艺设计，采用高性能涡轮叶片与抗耐反应产物沉积结构，实现N2抽速1280L/s及极限压强1E-8Pa（金属密封）。卖点包括磁悬浮免维护、60-70℃加热防沉...
磁悬浮CS系列CXF-320/3002CS分子泵，采用高性能气体输送涡轮叶片，耐反应产物沉积。其氮气抽速高达3260 L/s，极限压强可达1E-7 Pa，具备强大压缩比与2400 sccm瞬时流量。核心卖点为磁悬浮轴承技术，支持多种恶劣工艺...
磁悬浮CS系列CXF-320/3001CS分子泵采用高性能涡轮叶片设计，耐反应产物沉积，抽速高达2950L/s（N₂），极限压强达1E-7Pa。支持多种工艺气体，压缩比高，适配多种真空应用。具备水冷系统、宽电压电源及丰富配件扩展性...
磁悬浮CS系列CXF-320/3001CS分子泵采用高性能涡轮叶片设计，耐反应产物沉积，抽速高达2950L/s（N₂），极限压强达1E-7Pa。支持多种工艺气体，压缩比高，适配多种真空应用。具备水冷系统、宽电压电源及丰富配件扩展性...
CXF-200/1402CS磁悬浮分子泵磁悬浮分子泵采用高性能气体输送涡轮叶片，耐反应产物沉积，抽速可达1400L/s（N₂），极限压强低至1E-8Pa（金属密封）。其磁悬浮轴承设计支持33000RPM稳定运行，启动仅需7分钟，并具备径向...
CXF-250/2301CS磁悬浮分子泵采用高性能气体输送涡轮叶片，耐反应产物沉积，抽速高达2150 L/s（N₂），极限压强达1E-8 Pa（金属密封）。具备磁悬浮轴承无油污染、高效冷却水系统及宽电压适配电源。广泛适用于PVD/CVD、...
磁悬浮CS系列CXF-200/1401CS分子泵采用高性能气体输送涡轮叶片，耐反应产物沉积，抽速高达1280 L/s（N2），极限压强可达1E-8 Pa（金属密封）。具备水冷、保护气入口等丰富配件，额定转速30000 RPM，适用于PVD、CVD、...
磁悬浮CS系列CXF-250/2302CS分子泵采用高性能气体输送涡轮叶片，耐反应产物沉积，抽速达2360L/s（N2），极限压强可达1E-8Pa（金属密封）。具备丰富扩展配件，额定转速30000RPM，启动时间≤9分钟。广泛应用于PVD、CVD...
磁悬浮CV系列 CXF-320/3001CV分子泵专为光刻、CVD、PVD及离子刻蚀等高端工艺设计。其核心卖点包括高速抽速（N2达2950L/s）、高压缩比（N2/Ar达1E8）及极限压强1E-7Pa，涡轮叶片耐反应产物沉积，适配丰富的功能配件。...
CXF-250/2301CV磁悬浮分子泵专为高端真空工艺设计，具备高性能气体输送与耐反应产物沉积的涡轮叶片。其磁悬浮轴承实现无油运行，极限压强可达1E-8 Pa，抽速N2达2150 L/s。核心卖点包括快速启动（≤8分钟）、适配光刻...
磁悬浮CV系列CXF-200/1401CV分子泵采用高性能涡轮叶片，对N₂抽速达1280 L/s，极限压强1E-8 Pa（金属密封）。其磁悬浮轴承实现无油运行，配水冷与保护气接口，适应PVD、CVD、离子刻蚀等苛刻工艺。核心卖点为耐反应产...
磁悬浮G系列CXF-250/2301G光伏专用分子泵，抽速达2150 L/s（N2），极限压强可达1E-8 Pa（金属密封）。核心卖点包括更小电控组件适配严苛空间，支持RS232/485、Profibus等多通讯接口，可通过PC软件调试与定制实现同类...
DFF-400/300/50多流口单磁分子泵采用一泵多口设计，支持N₂H、H1、H2三种抽速模式（400/300/50 L/s），大幅节省设备成本与安装空间。其泵芯可快速更换，微油润滑实现低振动（≤0.05μm）、低噪音，且具备RS232/RS485及...
DFF-100/300单磁仪器分子泵采用单磁轴承结构，运行寿命超长，支持任意角度安装。其更高转速带来对小分子气体的更高压缩比，N2压缩比超1E11。产品集成式控制器支持多种控制方式，抽速达N2:280 L/s，最低工作压力可至2...
DFF-63/80单磁仪器分子泵采用单磁轴承结构，转速高达90000RPM，对N₂、He等小分子气体具备超高压缩比（N₂＞1E11）。卖点包括超长运行寿命（＞15000小时）、任意角度安装、集成式多控制方式，广泛适用于电子显微镜、质...
能满足较恶劣的使用环境要求（高温、粉尘等）；性能稳定，使用寿命长；维护保养简单，方便操作
能满足较恶劣的使用环境要求（高温、粉尘等）；性能稳定，使用寿命长；维护保养简单，方便操作
