【技术特点】-- 贝克曼库尔特MET ONE 3411便携式空气颗粒计数器

MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器

随着用于存储大量数据的表面几何空间急剧减少，微电子制造商的颗粒监测变得越来越重要。MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数仪的设计，满足半导体洁净室监控、工艺基准确定和颗粒故障解决的独特需要。

便携式空气颗粒计数仪适用于 ISO 14464 中 ISO 1 和 ISO 2 环境部分洁净室验证。 

• 0.1 微米的灵敏度（范围 0.1 μm-1.0 μm）

• 顺序采样与可选收集器

• 排气扇在仪器运行过程中不工作，以减少颗粒的影响

• 简化了区域、位置和运行参数配置和复制的接口

功能特点

合规标准

• 符合 ISO 14644-1  Class 5 的采样标准

• 符合 ISO 21501-4 准确的工艺基准确定和故障解决功能

数据管理

• 无线，以太网，串口和 USB 通讯选择

• 打印或无纸化数据输出

• 开放的通信体系结构

仪器操作

• 多达 6 个粒径通道（2.83 LPM 流速（0.1 CFM））

• 顺序采样能力

• 长寿命激光技术，提高性能和降低操作成本

应用程序

• 半导体洁净室分类与监控

• 持续的环境监测

• 故障诊断过程

MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界领先的 ISO 21501 数据准确性和再现性，是业内zei洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。

基本描述

便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在

• 可让您的洁净室保持洁净
  0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染

• 热插拔电池-百分百确保仪器长时间连续运行
  由于仪器使用的是热插拔电池，故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机

• 测试向导（Test Wizard）能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
  可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

• 顺序采样系统
  可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。

• 灵活的通讯方式——设置简单，数据传输方便
  供选择的无线，以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统，或者客户已有监控软件，以便减少文书工作

• 直观的用户界面
  简便的区域，位置和运行参数的配置和复制，节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中，从而消除参数设置错误，并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划！

• 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
  专用于满足特殊颗粒计数要求，仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。

应用领域

专应用于半导体行业的空气颗粒计数：

• 洁净室验证监测

• 洁净室的分级

• ISO14644洁净室验证

• 洁净室颗粒物监测

• 生产过程的连续监测

• 颗粒污染源的排除过程

• HEPA过滤器检漏，粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um

• 过滤器扫描

• 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体，流量会自动调整

空气颗粒计数器生命科学标准及委员会：

• 国际标准化组织 (ISO)

• ISO14644洁净室及相关受控环境

• ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器

• 环境科学与技术研究所 (IEST)

【技术特点对用户带来的好处】-- 贝克曼库尔特MET ONE 3411便携式空气颗粒计数器

【典型应用举例】-- 贝克曼库尔特MET ONE 3411便携式空气颗粒计数器