TESCAN 电镜质谱 FIB-SEM-TOF-SIMS 联用系统

质量分辨率： ＞800

质量分析范围：1-2500

原始束流或速能量： 30 kV

仪器种类：飞行时间

这款产品集成了TESCAN公司的聚焦离子束扫描电镜和Tofwerk公司提供的飞行时间二次离子质谱仪的所有特征。

一个发射源，正交提取，中等质量分辨率二次离子飞行时间质谱仪（TOF-SIMS) 安装在双束聚焦（离子/电子）扫描电镜上，可以高效益、低成本的完成二次离子元素扫描。在深度上，可以得到几纳米的分辨率是小菜一碟。所以，我们就可以获得三个维度上纳米级别的化学扫描结果。

示例：晶界

Magnesium alloy with hard-phase skeleton (Al, Ca rich, view field 50x50 µm²)

Courtesy of EMPA, Thun, Switzerland

TOP-SIMS作为一个附件安装在使用镓离子源的FIB电镜上，因而不需要再安装其它的离子源。在这台设备上，横向的空间分辨率可以达到50nm，而纵向的空间分辨率可以达到15nm。用户可以清晰的感受到TOP-SIMS和FIB-SEM结合后的所有优势（成像、蚀刻、沉积、光刻、微操作)，并能在完成纳米级别制备后同一位置进行SIMS分析。

TOF-SIMS与FIB-SEM集成的优势:

• 三维化学测绘

• 灵敏度高

• 可区分同位素

• 无需额外的离子源

• 连续的离子束

  
  

示例：纵向图

Multilayer sample of Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL)

另外，与EDX相比较，TOP和FIB-SEM的结合提供了更多的优势，诸如：更好的横向分辨率，适合光子元素。

示例：钠对太阳能电池的污染

Fig. Left: chemical mapping 左图：化学成像

Fig. Above: 3D reconstruction 上图：3D重构