性能指标：

      再现性/精度 Repeatability/Precision（1σ）：

      HF:<0.1 ppb（1 sec）、<0.07 ppb（10 sec）、<0.05 ppb（100 sec）

      HCl:<0.4 ppb（1 sec）、<0.25 ppb（10 sec）、<0.1 ppb（100 sec）

       响应时间 Response Time(Flow time through meas. Cell):

       <2 s (with external N920 vacuum pump)

测量量程 ：

        HF: 0.3-20000 ppb

        HCl: 0.3 -2000 ppb

运行范围:

       HF: 0-10 ppm

       HCl: 0-10 ppm

       H2O: 10-20000 ppm (无冷凝)