产品类型

高耐压型,抗电磁干扰

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,

                    1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

产品精度

 ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

重复精度

±0.2%   FS

线性

±0.5 % F.S  (20,30SLM: ±2 % F.S)

响应时间

电特性: 10sec;   气特性:≤4sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

10MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V

                         (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

电源

±15V

电气连接

D   sub 15 pins Male

工作压差范围

(0.2～0.6) MPa （10slm＜F.S.）,(0.2～0.8) MPa （F.S.≤10slm）

漏率

1×10-10atm?cc   / sec He（1×10-11 Pa?m3 / sec He）

标准接头形式

双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4”

抗电磁干扰

CE

重量

1Kg