技术参数：
| 满量程流量范围（N2） | 5SCCM～10SLM |
| 控制范围 | 2～100％F.S. |
| 阀类型（及阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） |
| 准确度 | ±1.5％F.S. |
| 线性 | ±1％F.S. |
| 重复精度 | ±0.2％F.S. |
| 响应时间 | 电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec |
| 工作温度范围 | 5～45℃ |
工作压差 | 0.1～0.5MPa |
| 耐压 | 3MPa |
| 漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
| 密封材料 | 氟橡胶、氯丁橡胶 |
| 电插头形式 | DB15 pin(Female) |
| 接头选择 | VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
| 抗电磁干扰 | CE |
| 重量 | 1.1Kg |
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