流量规格

（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）  SCCM

（0~1，2，3，5，10，20）  SLM

准确度

±1    % F.S. (20SLM: ±2 % F.S.)

线性

±0.5    % F.S. (20SLM: ±2 % F.S.)

重复精度

±0.2 % F.S.

响应时间

 ≤2 sec

  ≤1.5 sec

工作压差范围

                ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa
               ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa

<0.02MPa

耐压

                    3  MPa

   10  MPa

温度系数

Zero：≤±0.05% F.S./℃；Span：≤±0.1% F.S./℃

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

输入信号

0 V ~ +5.00 V

--

输出信号

0 V ~ +5.00 V

电插头形式

DB15    pin（Male）

电源

+15 V 50    mA -15V 200 mA

+15 V 50  mA

           -15V 50  mA

抗电磁干扰

CE

外形尺寸

见图

重量

0.95 kg

1.2 kg

1.0kg