质量数范围：1-100 amu，1-200 amu，1-300amu

响应时间：毫秒级

zei小检测分压：5×10^-11 Torr（FC）；5×10^-14 Torr（CDEM）

检出限：≤10ppm（FC）

操作范围：从常压到超高真空

操作温度：≤70℃

取样压力：≤5 bar（有特殊需求者可订制）

质量分析器：四极杆（Quad）

检测器：法拉第筒（FC），电子倍增器（CDEM）可选

离子源：电子轰击 （EI）源

技术指标

质量范围: 1 - 200 amu ( 300 amu 可选)
离子源: 电子轰击离子源
质量分析器: 四极杆式
通道数: 16通道（31通道可选）
质量轴稳定性: ＜ ± 0 . 1 amu / 7 2 h
检测器: 法拉第检测器（法拉第/电子倍增器双检测器）
进样系统: 多路旋转阀
真空系统: 前级泵和涡轮分子泵
测试限: 10ppm（法拉第检测器）；10ppb（电子倍增器）
检测组分数量: 无限制
稳定性: 连续30天RSD≤0.5%（基于1%Ar）