牛津仪器OPAL原子层沉积系统（ALD）

产品型号：OPAL

品牌：牛津仪器

产品产地：英国

产品类型：进口

原制造商：牛津仪器

状态：在售

厂商指导价格： 10~30万元[人民币]

上市时间： 2011年

英文名称：OPAL

优点：紧凑型开放式样品载入原子层沉积（ALD）系统 OpAL提供了独一无二的热ALD设备，可以简单明了的升级使用等离子体，使得在同一紧凑设备中集成了等离子体和热ALD。 开放式样品载入热ALD，集成等离子体技术 现场升级到可使用等离子体 从小晶片到200mm大晶片 适用于学术、产业、研发的热和/或等离子体化学产品，可用于： 氧化物： HfO2, Al2O3, TiO2, SiO2, ZnO, Ta2O5 氮化物：TiN, Si3N4 金属： Ru, Pt