ALD应用举例：

• 纳米电子学

• 高k栅极氧化物

• 存储电容器绝缘层-铜连线间的高纵横比扩散势垒区

• 有机发光二极管和聚合物的无针孔钝化层

• 钝化晶体硅太阳能电池

• 应用于微流体和MEMS的高保形涂层

• 纳米孔结构的涂层

• 生物微机电系统

• 燃料电池

直观性强的的软件提高性能

使用与牛津仪器的值得信赖的Plasmalab ®产品家族相同的软件平台， OpAL的程序驱动、多用户级别、PC2000TM控制的软件易于操作且可为快速ALD做相应修改。

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