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芬兰原子层沉积技术PICOSUN™ALD-P300BV

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Picosun原子层沉积(ALD), 芬兰原子层沉积技术PICOSUN™ALD-P300BV: PICOSUN™ P-300系统已经成为高产能ALD制造业......

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【技术特点】-- 芬兰原子层沉积技术PICOSUN™ALD-P300BV


薄膜沉积PICOSUN™ALD-P300B 应用案例
集成电路组件
微机电系统
氧化物间隔层

间聚介质

高K栅介质

隧穿氧化物薄膜

氧化物阻挡层

钝化层

间隙填充层

覆盖层

铜阻挡层和种子层

粘附层

扩散阻挡层

电极

金属化

扩散阻挡层

耐磨涂层

电荷耗散层

导热层

导电种子层

刻蚀阻挡层

电绝缘层

防摩擦层

防粘着层

光学薄膜

生物兼容层

密封层

纳米孔封堵层

其它
显示

晶体管

电容器

存储器

读写磁头

钝化

透明导电薄膜

绝缘层




【技术特点对用户带来的好处】-- 芬兰原子层沉积技术PICOSUN™ALD-P300BV


【典型应用举例】-- 芬兰原子层沉积技术PICOSUN™ALD-P300BV


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