技术特点
【技术特点】-- 原子层沉积系统PICOSUN™P300S
原子层沉积系统PICOPLASMA™技术的关键优势:
· 对衬底无等离子损伤
· 导电材料不会产生短路现象
· 无前驱源背扩散→等离子发生器无薄膜形成
· 等离子体点火期间无压力振荡→无颗粒形成
· 等离子体源与衬底之间无闸门阀→无颗粒形成
· 等离子体源材料无刻蚀→金属和氧化物薄膜低杂质
· 简单和快速服务并通过维护舱口改变腔室
· 无硬件修改使热ALD和等离子ALD工艺在同一沉积腔室中进行成为可能
【技术特点对用户带来的好处】-- 原子层沉积系统PICOSUN™P300S
【典型应用举例】-- 原子层沉积系统PICOSUN™P300S
请扫描二维码查看详细参数
经销商
除厂家/中国总经销商外,我们找不到 原子层沉积系统PICOSUN™P300S 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
如果您是,请告诉我们,我们的邮件地址是:sales@antpedia.net 请说明: 1.产品名称 2.公司介绍 3.联系方式 |
原子层沉积系统(ALD)
售后服务
我会维修/培训/做方法
如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商,都可参与登记,我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。