等离子体增强型原子层沉积PEALD

产品型号：PEALD

品牌：Picosun

产品产地：芬兰

产品类型：进口

原制造商：Picosun

状态：在售

厂商指导价格： 100~200万元[人民币]

上市时间： 2011年

英文名称：PEALD

优点：等离子体增强型原子层沉积PEALD介绍： PICOFLOW™ 扩散增强器 PICOFLOW™扩散增强器用于提升深沟槽、高深宽比样品的薄膜质量。同样适用于多孔、通孔、柔性样品，粉末及其他复杂纳米结构的样品。该装置兼容所有Picosun™ ALD设备。