技术特点
【技术特点】-- NLD-4000 (ICPA) PEALD系统
NLD-4000(ICPA)全自动PEALD系统选配:NLD-4000(ICPA)系统的选配项包含臭氧发生器,等等。
NLD-4000(ICPA)全自动PEALD系统应用:
Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3,etc
Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..
Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS应用.
Nano laminates纳米复合材料
【技术特点对用户带来的好处】-- NLD-4000 (ICPA) PEALD系统
【典型应用举例】-- NLD-4000 (ICPA) PEALD系统
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原子层沉积系统(ALD)
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